FOWINA –用于芯片級(jí)集成的精確微型彩色傳感器。圖片來(lái)源：弗勞恩霍夫ISC的K. Selsam

在FOWINA項(xiàng)目中，位于埃爾蘭根的弗勞恩霍夫集成電路IIS研究所和位于維爾茨堡的弗勞恩霍夫硅酸鹽研究所ISC開發(fā)了具有特殊微透鏡配置的新型彩色傳感器。傳感器可以直接在芯片上實(shí)現(xiàn)，并且可以在最小的空間內(nèi)結(jié)合多種功能。其極其纖薄的設(shè)計(jì)使這些傳感器適用于廣泛的應(yīng)用，例如在移動(dòng)設(shè)備或可調(diào)節(jié)顏色的LED燈中。

顏色傳感器用于顯示器，LED和其他技術(shù)設(shè)備中，以產(chǎn)生真實(shí)的顏色。它們的制造涉及使用特殊的納米等離子體結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)過(guò)濾入射光，從而允許僅精確限定的區(qū)域的顏色光譜到達(dá)檢測(cè)器表面�？刂迫肷浣堑哪芰�對(duì)彩色濾光片的正確功能至關(guān)重要。常規(guī)傳感器包含宏觀元素，以通過(guò)以不希望的角度遮擋光來(lái)提高濾鏡的精度并避免出現(xiàn)不真實(shí)的顏色，但是這些添加的元素會(huì)顯著增加組件的結(jié)構(gòu)尺寸。

適用于相機(jī)和智能手機(jī)的超薄傳感器

為克服此缺點(diǎn)，兩個(gè)從事FOWINA項(xiàng)目的Fraunhofer研究所IIS和ISC正在開發(fā)一種一體化的解決方案，該解決方案在最小的空間內(nèi)結(jié)合了多種功能。濾色鏡結(jié)構(gòu)，用于調(diào)節(jié)入射光的角度濾鏡，用于信號(hào)處理的評(píng)估電路以及用于轉(zhuǎn)換光能的光電二極管轉(zhuǎn)化為電能都集成在顏色傳感器芯片中。這種極其緊湊的設(shè)計(jì)使其有可能制造出新穎，超薄的色彩傳感器，以用于相機(jī)，智能手機(jī)和許多其他產(chǎn)品。FOWINA是一個(gè)內(nèi)部項(xiàng)目，由Fraunhofer資助，是其針對(duì)中小企業(yè)的內(nèi)部研究計(jì)劃的一部分。德國(guó)首字母縮寫詞代表“使用微光學(xué)光束整形元件控制納米結(jié)構(gòu)顏色傳感器的角光譜”。

它們具有很高的集成度，可以將最大的功能封裝在一個(gè)小的表面上，而且新穎的傳感器比以前的傳感器更容易制造，因此制造成本更低。Fraunhofer IIS負(fù)責(zé)開發(fā)包括納米等離子體濾色片的傳感器IC。后者可以與光電二極管和評(píng)估電路一起使用同一CMOS工藝（即單一技術(shù)）經(jīng)濟(jì)高效地制造。

Fraunhofer ISC負(fù)責(zé)制造微結(jié)構(gòu)陣列，這些陣列用作傳感器中的角度過(guò)濾器元件。Fraunhofer ISC的研究科學(xué)家S?nkeSteenhusen博士說(shuō)：“我們使用了先進(jìn)的雙光子聚合技術(shù)，幾乎可以創(chuàng)建任何類型的微結(jié)構(gòu)或結(jié)構(gòu)化表面。” 為了加快制造過(guò)程，F(xiàn)raunhofer ISC采用了納米壓印技術(shù)（一種高度精確且經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的光刻技術(shù)）來(lái)復(fù)制微結(jié)構(gòu)。該方法還允許將不同的結(jié)構(gòu)組合在同一基板上。

限制入射光的角度

在FOWINA項(xiàng)目的過(guò)程中，F(xiàn)raunhofer ISC通過(guò)使用微光學(xué)結(jié)構(gòu)將入射光的角度限制在+/- 10度的公差范圍內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)了最佳的濾色器性能。這樣可以主動(dòng)調(diào)整LED的顏色。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是微透鏡的非常高的表面精度，可以有針對(duì)性地將光聚焦在濾色鏡上。Fraunhofer ISC用于制造陣列的材料是一種特殊的無(wú)機(jī)-有機(jī)雜化聚合物，具有高化學(xué)，熱和機(jī)械穩(wěn)定性，并且可以通過(guò)修改其分子結(jié)構(gòu)輕松適應(yīng)特定應(yīng)用的需求。

兩家弗勞恩霍夫研究所的合作伙伴目前正在優(yōu)化顏色傳感器的設(shè)計(jì)和制造流程，以擴(kuò)大到工業(yè)應(yīng)用，并在以后大規(guī)模生產(chǎn)傳感器。