對(duì)于大眾來(lái)說(shuō)，傳感器和物聯(lián)網(wǎng)并不是新名詞，但很少有人真正了解它們。作為信息時(shí)代的感知層，傳感器是海量數(shù)據(jù)的接收和傳遞信息的入口，是萬(wàn)物互聯(lián)的重要基礎(chǔ)。

其中，MEMS傳感器作為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受世界各國(guó)的關(guān)注。近十年來(lái)，中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測(cè)到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國(guó)家對(duì)MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。

MEMS傳感器是物聯(lián)網(wǎng)、智能制造的基礎(chǔ)，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心副總裁、中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟副秘書(shū)長(zhǎng)朱佳騏告訴《創(chuàng)業(yè)圈》記者：“雖然物聯(lián)網(wǎng)還有一定距離，但至少基本條件是具備了，我們的判斷是物聯(lián)網(wǎng)會(huì)走得更快�！�

從業(yè)15年，朱佳騏見(jiàn)證了MEMS傳感器興起的整個(gè)歷程。由于起步較晚且工藝較成熟，該領(lǐng)域國(guó)內(nèi)與海外的差距并不像IC那么大，“而大量應(yīng)用在中國(guó)，我們有很好的土壤去讓它發(fā)展，希望能夠幫助中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)換道超車。”

2007年興起

MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集于一體的微型器件或系統(tǒng)。

通俗地講，它是利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機(jī)械，并將其與對(duì)應(yīng)電路集成為一個(gè)整體的技術(shù)。所以它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。MEMS是一個(gè)綜合學(xué)科的行業(yè)，涵蓋力學(xué)、材料學(xué)、化學(xué)、電學(xué)等多學(xué)科，需要長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)工藝的要求極為苛刻。

MEMS傳感器的興起始于2007年。這一年，蘋(píng)果發(fā)布了劃時(shí)代的新產(chǎn)品iPhone，手機(jī)沒(méi)有了實(shí)體按鍵，通過(guò)手指就可以精準(zhǔn)地操作，智能手機(jī)由此誕生�！斑@是MEMS傳感器最大的市場(chǎng)，全球智能機(jī)生產(chǎn)現(xiàn)在每年是大約14億部，每個(gè)手機(jī)上大概有10個(gè)傳感器，這是百億級(jí)出貨量的市場(chǎng)，”國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心相關(guān)負(fù)責(zé)人（下稱“該負(fù)責(zé)人”）對(duì)《創(chuàng)業(yè)圈》表示，“雖然汽車上的傳感器更多，越好的汽車傳感器越多，人性化做得越好，一輛車可能有幾十、上百個(gè)傳感器，但由于一年大概生產(chǎn)7800萬(wàn)輛汽車，在總量上仍然比不過(guò)手機(jī)�！�

這也是為什么要把傳感器做得更小的原因，“手機(jī)就這么大，不做小是放不進(jìn)去的”，比如手機(jī)中最常見(jiàn)的傳感器麥克風(fēng)，一臺(tái)手機(jī)有3-5個(gè)，再比如更小的藍(lán)牙耳機(jī)，集成了6-7個(gè)傳感器。該負(fù)責(zé)人認(rèn)為，只有做得足夠小，才能整合到智能手機(jī)等產(chǎn)品中；而如果沒(méi)有這么小的傳感器，像智能手機(jī)、藍(lán)牙耳機(jī)等一些非常好的應(yīng)用也無(wú)法迅速興起。

能做到足夠小，是由于MEMS傳感器大部分是硅基材料制成，在8英寸（約200毫米直徑）的硅晶圓上，可以集成成千上萬(wàn)個(gè)傳感器，以疫情期間常用的紅外線溫度傳感器為例，8英寸的晶圓上可以切割出16000個(gè)傳感器。同時(shí)，硅基材料還有成本低廉的優(yōu)點(diǎn)，硅元素可以從二氧化硅中大量提取，而二氧化硅就是最常見(jiàn)的建筑材料—沙子。

與世界上的行業(yè)巨頭相比，國(guó)內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)仍存在很大差距，這種差距的形成一方面源于國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)起步較晚，另一方面則是人才匱乏。

該負(fù)責(zé)人表示：“實(shí)際上也并沒(méi)有那么晚，20世紀(jì)50年代國(guó)內(nèi)就有人在做半導(dǎo)體了，但由于多方面的原因進(jìn)展緩慢，而MEMS傳感器真正的爆發(fā)是從2007年開(kāi)始的，因此與國(guó)外的差距相對(duì)沒(méi)有那么大�！�

同時(shí)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有一個(gè)規(guī)律，“研發(fā)投入非常大，但是一旦量產(chǎn)，如果有大量的市場(chǎng)規(guī)模可以把研發(fā)成本平攤掉，它的成本可以很低。為什么會(huì)很低？因?yàn)樵�材料硅�?lái)源于沙子”。

物聯(lián)網(wǎng)將走得更快

傳感器的重要性毋庸置疑，它是所有智能化的起步入口，數(shù)據(jù)的來(lái)源，所有的新的智能化應(yīng)用都和傳感器有關(guān)系。如果說(shuō)在人工智能時(shí)代，芯片和深度學(xué)習(xí)相當(dāng)于心臟和大腦的角色，那么傳感器就相當(dāng)于我們的眼睛、鼻子、耳朵、舌頭等等�！叭绻�連數(shù)據(jù)輸入都沒(méi)有，就談不上通信、計(jì)算。”

這也是物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展必要的核心技術(shù)之一，該負(fù)責(zé)人認(rèn)為，物聯(lián)網(wǎng)的兩大核心技術(shù)平臺(tái)是傳感和通信。

物聯(lián)網(wǎng)萬(wàn)物互聯(lián)的概念在10年前就很火熱，但實(shí)際上當(dāng)時(shí)不管從傳感器還是通信網(wǎng)絡(luò)都沒(méi)有準(zhǔn)備好。“要把‘物’聯(lián)進(jìn)網(wǎng)絡(luò)，要符合兩個(gè)特性：一是低功耗、二是便宜。你愿意花3000元買一部手機(jī)，但如果將一把椅子加上傳感器接入網(wǎng)絡(luò)，可能只愿意花一兩塊錢；你愿意每天給手機(jī)充電，但你即使每周給椅子充一次電也許都不愿意�！�

業(yè)內(nèi)對(duì)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用基本可以歸納為六大應(yīng)用場(chǎng)景，分別是智慧城市、智能家居、智能工業(yè)、車聯(lián)網(wǎng)、智慧穿戴、智能醫(yī)療。

但現(xiàn)實(shí)是，真正的物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代還沒(méi)有到來(lái)，而如果要開(kāi)啟萬(wàn)物互聯(lián)的時(shí)代，傳感器是首先要解決的問(wèn)題，同時(shí)，一些通信的國(guó)際組織針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)也提出了一些協(xié)議，例如NB-IoT。該負(fù)責(zé)人認(rèn)為：“雖然物聯(lián)網(wǎng)還有一定距離，但至少基本條件是具備了，我們的判斷是物聯(lián)網(wǎng)會(huì)走得更快�！�

藍(lán)牙音箱、智能門(mén)鎖是物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域典型的應(yīng)用單品，開(kāi)始出現(xiàn)后在很短的時(shí)間內(nèi)銷售上億元，智能家居、環(huán)境監(jiān)控、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療等都在往物聯(lián)網(wǎng)的方向發(fā)展。雖然廣義的物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代還處于準(zhǔn)備階段，但一旦出現(xiàn)標(biāo)志性成體量的東西會(huì)迅速爆發(fā)。這一點(diǎn)，我們與國(guó)外面臨的現(xiàn)狀是同步的。

“這也是我們認(rèn)為物聯(lián)網(wǎng)在中國(guó)可能會(huì)更有優(yōu)勢(shì)的原因。因?yàn)橹袊?guó)整個(gè)市場(chǎng)非常大，而且非常愿意接受新鮮事物，所以我們一直覺(jué)得物聯(lián)網(wǎng)的興起一定是在中國(guó)，而不是在歐美。”

平臺(tái)+聯(lián)盟

物聯(lián)網(wǎng)會(huì)首先在中國(guó)興起另一個(gè)重要原因，在于政府方面的支持，“一些市政建設(shè)，比如水電煤三表的抄送、5G智能燈桿等，都是政府出錢來(lái)做的，這種投入在海外是沒(méi)有的。” 該負(fù)責(zé)人說(shuō)。

國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心便是在中國(guó)工業(yè)和信息化部的指導(dǎo)下，于2018年6月成立的。創(chuàng)新中心以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，專注傳感器設(shè)計(jì)集成技術(shù)、先進(jìn)制造及封測(cè)工藝，布局傳感器新材料、新工藝、新器件和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用方案等領(lǐng)域。

國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，聯(lián)合傳感器上下游及產(chǎn)業(yè)鏈龍頭企業(yè)開(kāi)展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，打造世界級(jí)智能傳感器創(chuàng)新中心。

“按照工信部的設(shè)想是公司+聯(lián)盟的模式，公司有12個(gè)股東，都是行業(yè)里各個(gè)領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊，覆蓋了全國(guó)主要的產(chǎn)業(yè)區(qū)域，能夠代表行業(yè)內(nèi)主流的技術(shù)和想法，但這還不夠，還有一個(gè)聯(lián)盟去團(tuán)結(jié)行業(yè)內(nèi)更多的企業(yè)�！痹撠�(fù)責(zé)人介紹。

創(chuàng)新中心運(yùn)營(yíng)的中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟成立于2016年，目前會(huì)員數(shù)量超過(guò)1000家，聯(lián)盟會(huì)員類別覆蓋了芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、系統(tǒng)集成、物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)資本全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)圈，聯(lián)盟發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研資源優(yōu)勢(shì)，加速我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。

“這1000多家企業(yè)中有300-400家是真正傳感器半導(dǎo)體本行業(yè)的企業(yè)，剩余大量的公司都是應(yīng)用端企業(yè)，各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊幾乎都是我們的會(huì)員，包括華為、大疆、海爾、比亞迪、上汽、中電網(wǎng)、中車等。”該負(fù)責(zé)人表示，聯(lián)盟的主要目的是打通核心技術(shù)和應(yīng)用端，打造上下游生態(tài)圈。

創(chuàng)新中心以“平臺(tái)+聯(lián)盟”模式運(yùn)行。中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會(huì)員來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)，發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研資源優(yōu)勢(shì)，加速我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)智能傳感、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。創(chuàng)新中心的成員單位來(lái)自聯(lián)盟內(nèi)的龍頭成員單位，包括研發(fā)平臺(tái)、芯片設(shè)計(jì)、封裝制造、系統(tǒng)應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)基金，吸引全球頂尖人才團(tuán)隊(duì)，帶動(dòng)中國(guó)智能傳感產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)“換道超車”。

以這樣的模式來(lái)打造產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，也做了諸多具體的工作，“一是依托聯(lián)盟做了一個(gè)展會(huì)sensor China，現(xiàn)在是傳感器領(lǐng)域全球第二大展會(huì)，也是為大家做了一個(gè)展示和國(guó)際交流的平臺(tái)；二是制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；三是今年啟動(dòng)了行業(yè)評(píng)獎(jiǎng)，此外還有組織海外交流、對(duì)聯(lián)盟企業(yè)的服務(wù)等”。

同時(shí)，創(chuàng)新中心聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同組建了聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)傳感器關(guān)鍵共性技術(shù)與行業(yè)應(yīng)用傳感器融合系統(tǒng)解決方案，為傳感器的技術(shù)創(chuàng)新和標(biāo)準(zhǔn)化提供高效研發(fā)實(shí)驗(yàn)環(huán)境和產(chǎn)業(yè)合作環(huán)境。聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室已完成在智能駕駛、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、環(huán)境安全監(jiān)測(cè)、智慧家居、智慧農(nóng)業(yè)、智慧醫(yī)療等領(lǐng)域的系統(tǒng)級(jí)解決方案展示及驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)室。

有希望換道超車

國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心落地在上海嘉定區(qū)。2019年年底，嘉定區(qū)發(fā)布了《關(guān)于進(jìn)一步鼓勵(lì)嘉定區(qū)發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)的意見(jiàn)》，幫助嘉定建設(shè)1000億級(jí)集成電路和物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)集群。

嘉定已經(jīng)在集成電路和智能傳感領(lǐng)域建立了豐富的產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)、豐富的科研資源和良好的示范應(yīng)用范圍。在下一階段，嘉定將繼續(xù)完善產(chǎn)業(yè)鏈和工業(yè)生態(tài)學(xué)，關(guān)注重點(diǎn)領(lǐng)域加強(qiáng)前瞻性布局，加強(qiáng)關(guān)鍵核心技術(shù)的努力。上海加快建設(shè)智能傳感器工業(yè)園區(qū)、智能科學(xué)和創(chuàng)新城鎮(zhèn)以及其他平臺(tái)和載體。同時(shí)，嘉定區(qū)也將繼續(xù)改善營(yíng)商環(huán)境，努力加快一批重點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供更好的服務(wù)和更便利的環(huán)境。

嘉定區(qū)提供的政策支持包括企業(yè)投融資、降低成本、研發(fā)創(chuàng)新、規(guī)模發(fā)展、人才集聚、合作交流六個(gè)方面。企業(yè)從注冊(cè)、項(xiàng)目實(shí)施到后期發(fā)展都有優(yōu)惠的政策支持。到2025年，嘉定區(qū)與智能傳感器芯片相關(guān)的智能硬件產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將突破1000億元，成為上海、長(zhǎng)三角乃至全國(guó)的傳感器與智能硬件產(chǎn)業(yè)高地。

目前，國(guó)內(nèi)MEMS傳感器在市場(chǎng)占有率和技術(shù)先進(jìn)性上，與國(guó)外差距仍然較為明顯。該負(fù)責(zé)人表示：“在全球MEMS傳感器排名前30名中，只有2―3家是中國(guó)企業(yè)，而這兩三家的技術(shù)含量跟海外相比也是有差距的，它們體量大，銷售額很大，但核心技術(shù)可能不在這些企業(yè)手上�！�

“不過(guò)，在后幾代的一些新的傳感器上，我們和海外的差距反而沒(méi)那么大，比如一些新材料，盡管仍然有一些劣勢(shì)�！痹撠�(fù)責(zé)人指出，“傳感器從迭代、技術(shù)含量上，它的門(mén)檻并沒(méi)有IC那么高，集成電路還涉及最先進(jìn)的設(shè)備、最新型的材料。傳感器相對(duì)好一些，主要以8英寸為主，從半導(dǎo)體制造工藝上來(lái)說(shuō)是相對(duì)成熟的。從這個(gè)角度來(lái)說(shuō)，中國(guó)和海外的差距并不是跨不過(guò)去的�！�

“另一個(gè)優(yōu)勢(shì)在于，傳感器只是一個(gè)器件，但它和物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用是緊密綁定的，如果這些應(yīng)用在中國(guó)興起，這個(gè)新增市場(chǎng)海外是競(jìng)爭(zhēng)不過(guò)我們的�！痹撠�(fù)責(zé)人說(shuō)。

目前，創(chuàng)新中心有40多位員工，其中60%―70%是研發(fā)人員，研發(fā)線仍在建設(shè)當(dāng)中。該負(fù)責(zé)人希望，創(chuàng)新中心能成為傳感器領(lǐng)域“最好的研發(fā)機(jī)構(gòu)，最強(qiáng)的創(chuàng)新中心”，“我們希望在半導(dǎo)體領(lǐng)域能夠換道超車，因?yàn)樵贛EMS傳感器和先進(jìn)傳感器，我們的差距和海外并沒(méi)有那么大，而大量應(yīng)用在中國(guó)，我們有很好的土壤去讓它發(fā)展，希望能夠幫助中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)換道超車�！�

那我們還需要多久才能趕上海外領(lǐng)先者？該負(fù)責(zé)人認(rèn)為：“通過(guò)國(guó)家的支持和持續(xù)投入，經(jīng)過(guò)5-10年的努力，在傳感器領(lǐng)域基本能夠趕上全球最先進(jìn)的這些企業(yè)，甚至在細(xì)分領(lǐng)域成為領(lǐng)先者，這是有可能的。”

編輯/吳慧